超聲清洗是超聲波的主要應用之一，與其他清洗相比，超聲清洗具有效率高、質量好，可清洗復雜零件、深孔、盲孔及狹縫中的污物，且易于實現清洗自動化等特點。目前，超聲波清洗機生產企業已從20世紀90年代初的幾家發展到現在的幾百多家。隨著我國國民經濟進一步發展，它必定成為許多工業、醫療、環保等部門不可缺少的一種工藝手段。

超聲波清洗機的工作頻率根據清洗對象，大致分為三個頻段：低頻超聲清洗(20～50kHz)，高頻超聲清洗(50～200kHz)和兆赫超聲清洗(700k～1MHz以上)。低頻超聲清洗適用于大部件表面或者污物和清洗件表面結合強度高的場合。頻率的低端，空化強度高，易腐蝕清洗件表面，不適宜清洗表面光潔度高的部件，而且空化噪聲大。40kHz左右的頻率，在相同聲強下，產生的空化泡數量比頻率為20kHz時多，穿透力較強，但空化強度較低，宜清洗表面形狀復雜或有盲孔的工件和清洗污物與被清洗件表面結合力較弱的部件，并且空化噪聲較小。高頻超聲清洗適用于微電子元件的精細清洗，如磁盤、驅動器、讀寫頭、液晶玻璃、平面顯示器、微組件和拋光金屬件等。這些清洗對象要求在清洗過程中不能受到空化腐蝕，而且能夠洗掉微米級的污物。兆赫超聲清洗適用于集成電路芯片、硅片及薄膜等的清洗，要求能去除微米、亞微米級的污物而對清洗件沒有任何損傷。因為此時不產生空化，其清洗機理主要是聲壓梯度、粒子速度和聲流的作用。特點是清洗方向性強，被清洗件一般置于與聲束平行的方向。

按照清洗介質劃分可以分為常規清洗和氣相超聲清洗。常規清洗是指采用常規的不會大規模揮發的清洗溶劑，例如：水、水基清洗劑、清洗用的部分石油制成品等。常用的與超聲結合的清洗手段有高溫浸泡、鼓泡、噴淋等；烘干方式一般采用熱風烘干、離心烘干等。氣相清洗一般采用易揮發的清洗溶劑，如氟利昂、三氯乙烯、三氯乙烷等，它們清洗油污的能力特別強，但是沸點較低，使用中一般配置冷凝回收系統。常用的與超聲結合的清洗手段有熱浸、噴淋、蒸汽浴洗等；烘干方式一般采用冷凍干燥。

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